隨著蘋(píng)果Vision Pro、Meta Quest等產(chǎn)品的迭代,近眼顯示技術(shù)正從概念走向消費(fèi)級(jí)應(yīng)用。然而,制約AR/VR普及的核心瓶頸——Micro-LED微顯示屏的規(guī)?;慨a(chǎn),長(zhǎng)期懸而未決。近日,蘇州漢驊半導(dǎo)體有限公司(下稱“漢驊半導(dǎo)體”)宣布,其自主研發(fā)的“8寸全色硅基氮化鎵Micro-LED標(biāo)準(zhǔn)工藝平臺(tái)”正式建成并開(kāi)放代工服務(wù),成功打通了從外延生長(zhǎng)、無(wú)損去硅到CMOS集成的全流程工藝鏈路。這一突破被業(yè)內(nèi)視為Micro-LED產(chǎn)業(yè)化的重要里程碑,有望大幅降低近眼顯示核心器件的成本,加速AR/VR眼鏡走向大眾。

萬(wàn)億市場(chǎng)的“卡脖子”難題
根據(jù)IDC預(yù)測(cè),2026年全球AR/VR相關(guān)投資支出將達(dá)509億美元,到2029年全球智能眼鏡出貨量有望突破4000萬(wàn)臺(tái)。業(yè)界普遍認(rèn)為,隨著Micro-LED等核心技術(shù)的成熟,近眼顯示有望催生萬(wàn)億美元級(jí)別的產(chǎn)業(yè)生態(tài)。
Micro-LED因其超高亮度、超長(zhǎng)壽命、極低功耗等特性,被公認(rèn)為近眼顯示的“終極方案”。然而,量產(chǎn)之路橫亙著三道工藝?guó)櫆希捍蟪叽绻杌壨庋泳鶆蛐圆?;氮化鎵薄膜與CMOS驅(qū)動(dòng)芯片難以高效集成;全彩化鍵合精度要求極高。
“過(guò)去幾年,許多企業(yè)推出了Micro-LED樣品,但能穩(wěn)定量產(chǎn)、滿足消費(fèi)級(jí)成本的極少。”一位顯示行業(yè)分析師指出,“問(wèn)題不在設(shè)計(jì),而在工藝——如何將微米級(jí)的發(fā)光單元無(wú)損地轉(zhuǎn)移到CMOS背板上,并保證每一顆像素都亮、都均勻,這是真正的‘卡脖子’環(huán)節(jié)?!?/span>
自研三大技術(shù)突破
漢驊半導(dǎo)體此次發(fā)布的8寸標(biāo)準(zhǔn)工藝平臺(tái),核心在于三項(xiàng)自主技術(shù):
晶圓級(jí)無(wú)損去硅:可在8寸晶圓尺度上完整剝離氮化鎵薄膜,保持其晶格完整性和發(fā)光效率,為與CMOS晶圓級(jí)鍵合提供高質(zhì)量“薄膜引擎”。
超高精度混合鍵合:已于2025年實(shí)現(xiàn)3.75微米間距的混合鍵合量產(chǎn),鍵合成品率超過(guò)95%,并正向2.5微米工藝研發(fā),未來(lái)可支持2560 PPI以上的超高清微顯示。
多層堆疊全彩:基于3DIC架構(gòu),將紅、綠、藍(lán)三色Micro-LED外延晶圓通過(guò)混合鍵合垂直堆疊,解決了傳統(tǒng)巨量轉(zhuǎn)移方案效率低、良率差的問(wèn)題。

目前,該平臺(tái)已實(shí)現(xiàn)微米級(jí)乃至亞微米級(jí)發(fā)光單元陣列,且工藝流程與主流8寸CMOS產(chǎn)線高度兼容,可直接利用現(xiàn)有半導(dǎo)體代工廠的成熟設(shè)備,大幅降低產(chǎn)線投資門檻。
降本·自主與開(kāi)放生態(tài)
成本是AR眼鏡從極客玩具走向大眾消費(fèi)品的最后一道門檻。目前一套高亮度Micro-LED微顯示模組成本約200-300美元,占整機(jī)BOM的30%以上。若漢驊的平臺(tái)實(shí)現(xiàn)規(guī)?;げ⑴cCMOS產(chǎn)線協(xié)同,預(yù)計(jì)可將模組成本拉低至100-150美元,帶動(dòng)整機(jī)售價(jià)從1500美元降至800美元以內(nèi)。
同時(shí),漢驊的突破意味著國(guó)產(chǎn)Micro-LED供應(yīng)鏈的自主可控。此前,高端氮化鎵外延片、精密鍵合設(shè)備及工藝多依賴海外。漢驊已建成國(guó)內(nèi)首條8英寸常溫晶圓級(jí)異質(zhì)集成量產(chǎn)線,具備從外延設(shè)計(jì)到代工交付的一站式能力,可幫助下游企業(yè)規(guī)避技術(shù)“斷供”風(fēng)險(xiǎn)。

漢驊此次同時(shí)宣布開(kāi)放代工服務(wù),提供類似半導(dǎo)體PDK的標(biāo)準(zhǔn)化接口,合作伙伴可根據(jù)需求定制外延結(jié)構(gòu)、像素陣列和鍵合方案。公司已與多家頭部CMOS代工廠、面板廠商開(kāi)展聯(lián)合開(kāi)發(fā),面向AR/VR、車載HUD、工業(yè)頭顯等場(chǎng)景提供微顯示解決方案。漢驊半導(dǎo)體董事長(zhǎng)袁義倥表示,通過(guò)開(kāi)放平臺(tái)讓更多設(shè)計(jì)公司和系統(tǒng)廠商低門檻使用Micro-LED技術(shù),共同做大市場(chǎng)。
挑戰(zhàn)與展望
盡管技術(shù)突破令人振奮,但Micro-LED的全面普及仍有挑戰(zhàn):紅光氮化鎵外延效率偏低,全彩堆疊的光學(xué)串?dāng)_問(wèn)題有待優(yōu)化,納米級(jí)發(fā)光單元制備工藝尚在探索。據(jù)漢驊半導(dǎo)體透露,下一步將持續(xù)向更高PPI、更小像素尺寸演進(jìn),并探索“多波長(zhǎng)外延+色轉(zhuǎn)換”的混合全色方案,預(yù)計(jì)2026-2027年將有多款基于該平臺(tái)的消費(fèi)級(jí)AR眼鏡面世。
從材料定義性能到平臺(tái)定義產(chǎn)業(yè),漢驊半導(dǎo)體的8寸Micro-LED標(biāo)準(zhǔn)工藝平臺(tái),正為中國(guó)在“后摩爾時(shí)代”的異質(zhì)異構(gòu)集成領(lǐng)域搶下一張關(guān)鍵船票。萬(wàn)億近眼顯示市場(chǎng)的浪潮,或許就從這片8寸晶圓上開(kāi)始奔涌。
責(zé)編:沈禮
一審:沈禮
二審:湯世明
三審:田從梅
來(lái)源:華聲在線
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